Ko te haumākū he tikanga whakahaere taiao i roto i nga mahi o nga ruma horoi. Ko te uara whainga o te haumākū whanaunga i roto i te ruma horoi semiconductor e whakahaeretia ana ki roto i te awhe o te 30 ki te 50%, ka taea te hapa ki roto i te awhe whaiti o ±1%, penei i te waahi whakaahua - he iti ake ranei i te waahi tukatuka ultraviolet (DUV). – I etahi atu waahi, ka taea e koe te okioki ki roto i te ± 5%.
Na te mea he maha nga ahuatanga o te haumuku ka whai waahi ki te mahi katoa o te ruma ma, tae atu ki:
● tipu huakita;
● Te whānuitanga o te whakamarie e rongohia ana e nga kaimahi i te pāmahana rūma;
● Ka puta te utu pateko;
● waikura whakarewa;
● Kohu kohu wai;
● te paheketanga o te lithography;
● Te tango wai.
Ka taea e te huakita me etahi atu mea whakakino koiora (maaka, wheori, harore, mite) ka kaha te tini ki roto i nga taiao me te haumākū o runga ake i te 60%. Ka tipu etahi tipu ka nui ake te haumuku i te 30%. Ina kei waenganui i te 40% ki te 60% te haumākū whanaunga, ka taea te whakaiti i nga paanga o te huakita me te mate manawa.
Ko te haumuku i roto i te awhe o te 40% ki te 60% he awhe iti ano e pai ai te tangata. Ko te nui o te haumuku ka pouri te tangata, ko te makuku kei raro iho i te 30% ka maroke te tangata, ka marumaru, te manawa manawa me te ngakau pouri.
Ko te haumākū nui ka whakaiti i te kohinga o te utu pateko i runga i te mata o te ruma ma – koinei te hua e hiahiatia ana. He pai ake te haumākū iti mo te whakaemi utu me te puna ka pakaru pea te tuku hiko. Ka neke ake te haumākū whanaunga ki te 50%, ka tere te toha o te utu pateko, engari ka iti iho te haumākū whanaunga i te 30%, ka taea e ratou te tohe mo te wa roa i runga i te insulator, i te mata koretake ranei.
Ko te haumākū tata i waenga i te 35% me te 40% ka pai te whakaraerae, me te nuinga o nga wa ka whakamahia e nga rūma horoi semiconductor etahi atu mana hei whakawhāiti i te kohinga o te utu pateko.
Ko te tere o te maha o nga tauhohenga matū, tae atu ki te tukanga waikura, ka piki ake i te pikinga o te haumākū whanaunga. Ko nga mata katoa e kitea ana ki te hau e karapoti ana i te ruuma ma, ka tere te kapi ki te kotahi te iti rawa o te wai. Ina hangaia enei papa ki tetahi paninga whakarewa angiangi ka taea te tauhohe ki te wai, ka kaha te haumākū nui ki te whakatere i te tauhohenga. Waimarie, ka taea e etahi konganuku, penei i te konumohe, te hanga i te waikura whakamarumaru ki te wai me te aukati atu i nga tauhohenga waiora; engari ko tetahi atu keehi, penei i te waikura konukura, kaore i te whakamarumaru, no reira I nga waahi haumākū nui, ka kaha ake te whakaraerae o nga papa parahi ki te waikura.
I tua atu, i roto i te taiao haumākū whanaunga teitei, ka whakawhānuihia te photoresist me te kaha ake i muri i te huringa tunu na te whakauru o te makuku. Ka taea hoki te whakararu kino i te adhesion photoresist e te haumākū whanaunga teitei ake; ko te haumākū whanaunga iti (mo te 30%) ka ngawari ake te whakapiri photoresist, ahakoa kaore he hiahia mo te whakarereke polymeric.
Ko te whakahaere i te haumākū whanaunga i roto i te rūma ma semiconductor ehara i te mea noa. Heoi, ka huri te wa, he pai ake te arotake i nga take me nga turanga o nga tikanga e whakaaetia ana e te nuinga.
Kaore pea te haumuku e tino kitea mo to tatou whakamarietanga tangata, engari he maha nga wa e pa ana ki te mahi whakaputa, ina koa he nui te haumuku, a ko te makuku te nuinga o te mana kino, na reira I roto i te mana o te pāmahana me te haumākū o te rūma ma, he pai ake te haumākū.
Wā tuku: Sep-01-2020